MCMILLAN UHP光刻膠液流監(jiān)測(cè)儀/Model U709

Mcmillan成立于1988年美國(guó)德州的Georgetown市,是個(gè)典型的家族企業(yè), Mcmillan是-家在技術(shù)上一直追求突破 與創(chuàng)新但行事縝密的設(shè)計(jì)/制造公司,其企業(yè)的宗旨在于提供客戶合理價(jià)格且品質(zhì)優(yōu)良的解決方案,融合創(chuàng)新與嚴(yán)謹(jǐn)是Mmmilan競(jìng)爭(zhēng)力的優(yōu)勢(shì)。

McMillan 是為各行各業(yè)的工程師提供流量測(cè)量和控制產(chǎn)品的企業(yè)。通過開發(fā)提供合理成本、精確測(cè)量和緊湊尺寸的技術(shù), McMillan產(chǎn)品解決了儀器和設(shè)備設(shè)計(jì)中遇到的許多挑戰(zhàn)。作為一家家族式小型企業(yè) ,友善、樂于助人和樂于助人是持續(xù)成功的重 要因素。

McMillan的主要制造I位于美國(guó)德克薩斯州中部,提供的設(shè)計(jì).開發(fā)和測(cè)試能力。該設(shè)施由McMillan的管理團(tuán)隊(duì)從頭開始設(shè)計(jì),以確保滿足當(dāng)前和未來的需求。單擊下面的箭頭可查看外觀和內(nèi)部的各種照片。

麥克米蘭U709型UHP液體FLO監(jiān)測(cè)器將精確測(cè)量幾乎任何光刻膠化學(xué)品的流速，無論是短時(shí)爆發(fā)流還是連續(xù)流?？芍貜?fù)檢測(cè)短至500毫秒的分液和低至0.1克的體積。

使用微型渦輪流量傳感器設(shè)計(jì)可獲得可重復(fù)的結(jié)果。與傳統(tǒng)的葉輪設(shè)計(jì)不同，這種設(shè)計(jì)提供了精確的流量測(cè)量，不會(huì)產(chǎn)生顆粒或元素污染。PTFE、全氟彈性體和藍(lán)寶石浸潤(rùn)部件確保與微電子制造過程中常見的化學(xué)品兼容，包括去離子水、CMP漿料、酸、溶劑和光刻膠。

這些FLO監(jiān)測(cè)器將傳感元件與先進(jìn)的電子設(shè)備集成在一起，提供與流速成比例的輸出信號(hào)。每個(gè)單元在裝運(yùn)前都經(jīng)過單獨(dú)校準(zhǔn)，所有FLO監(jiān)視器都附有校準(zhǔn)證書。所使用的可靠技術(shù)使工藝工程師對(duì)一致的可重復(fù)結(jié)果放心。

對(duì)于穩(wěn)定的粘度，ITY脈沖輸出型號(hào)的精度規(guī)格為滿量程的3.0%或更高（包括線性度）。

校準(zhǔn)

所有裝置都在工廠使用去離子水進(jìn)行校準(zhǔn)，每個(gè)裝置都附有校準(zhǔn)證書。對(duì)于粘度不同于水的流體，請(qǐng)聯(lián)系工廠了解更多信息。

顯示

麥克米蘭有一系列廣泛的遠(yuǎn)程顯示器與UHP FLO監(jiān)視器一起使用。請(qǐng)向工廠索取更多信息。

電氣連接

所有裝置都有一個(gè)集成的7針連接器。有多種配套電纜可供選擇。

流量范圍

連續(xù)流量范圍為7-50毫升/分鐘至100-1，000毫升/分鐘。有關(guān)定制要求，請(qǐng)咨詢工廠。

流體連接

所有裝置均配有Flaretek兼容公連接器。可根據(jù)要求提供非標(biāo)準(zhǔn)連接類型。電源裝置可以使用12 VDC或24 VDC電源運(yùn)行。

信號(hào)輸出

U709型具有脈沖輸出功能，通常為0-200 Hz至0-800 Hz（請(qǐng)查閱裝置校準(zhǔn)證書以了解準(zhǔn)確的頻率輸出）。

潤(rùn)濕材料

所有裝置都只有PTFE、全氟彈性體和藍(lán)寶石作為浸濕部件。

MCMILLAN UHP光刻膠液流監(jiān)測(cè)儀/Model U709

相關(guān)型號(hào)：

Model 50D

Model 50S

Model 104

Model 107

Model 106

Model 106F

Model 106S

Model U701

Model U702

Model U705

Model U706