vatvalve高壓快速關閉閥25740-QE99 25.7 高真空快速切斷閥受流量控制。沒有任何子系統（傳感器和驅動器）的直接操作設計可提供高速隔離功能，并且復雜性和故障風險均較低。
瑞士vatvalve角控制閥 62034-KAGX-0001 帶有閉環(huán)控制步進電機的線性驅動器
62.0 角控制閥可提供非常精確的壓力控制性能。得益于其電動線性驅動器，該系列閥門能夠以最小流導通過順暢且精細的控制循環(huán)地打開和關閉。集成式軟抽控制功能通過避免與大多數傳統氣動驅動器相關的壓力峰值來增強這一點。
vatvalve蝶形控制閥 61328-KAAE-0001 61.3 蝶形控制閥可提供出色的壓力控制性能。憑借其快速且精準的作用動作控制器（0.1 秒），61.3 蝶形控制閥成為 CVD 和 ALD 工藝中精細控制的理想解決方案。
瑞士vatvalve高真空蝶形控制和隔離閥 61632-KEGQ-0001/2063 快速且精準的壓力控制和隔離
